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薄膜電子拉力機(jī)的工作過(guò)程是怎樣的?

更新時(shí)間:2023-03-17      點(diǎn)擊次數(shù):1195
  薄膜電子拉力機(jī)是一種用于測(cè)試薄膜材料力學(xué)性能的儀器。它的主要原理是利用電子束在薄膜表面刻蝕的作用下,測(cè)量薄膜的拉伸強(qiáng)度和斷裂伸長(zhǎng)率。下面將詳細(xì)介紹拉力機(jī)的原理和工作過(guò)程。
  
  1、原位電子束刻蝕:利用在薄膜表面刻蝕的作用下測(cè)量薄膜的拉伸強(qiáng)度和斷裂伸長(zhǎng)率。在儀器中,使用了一束高能量的電子束,在薄膜表面進(jìn)行原位刻蝕。在這個(gè)過(guò)程中,電子束會(huì)在薄膜表面形成一個(gè)幾微米的孔洞。這個(gè)孔洞的大小、形狀和深度,決定了薄膜的拉伸強(qiáng)度和斷裂伸長(zhǎng)率。
  
  2、應(yīng)力測(cè)量:在薄膜表面形成孔洞之后,通過(guò)對(duì)薄膜進(jìn)行拉伸,測(cè)量薄膜的應(yīng)力和應(yīng)變。應(yīng)力測(cè)量是通過(guò)電阻應(yīng)變計(jì)或光纖傳感器進(jìn)行的,這些傳感器可以精確地測(cè)量薄膜的應(yīng)力和應(yīng)變。通過(guò)測(cè)量薄膜的應(yīng)力和應(yīng)變,可以計(jì)算出薄膜的拉伸強(qiáng)度和斷裂伸長(zhǎng)率。
  
 

薄膜電子拉力機(jī)

 

  薄膜電子拉力機(jī)的工作過(guò)程是怎樣的?
  
  1、薄膜樣品制備
  
  首先需要準(zhǔn)備薄膜樣品。薄膜樣品可以通過(guò)物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積、濺射等方法制備。制備好的薄膜樣品需要具有一定的尺寸和形狀,以適合在電子拉力機(jī)中進(jìn)行測(cè)試。
  
  2、操作子拉力機(jī)
  
  將制備好的薄膜樣品放入電子拉力機(jī)中,對(duì)樣品進(jìn)行定位和調(diào)整,以確保測(cè)試的準(zhǔn)確性。然后,啟動(dòng)電子束,對(duì)薄膜表面進(jìn)行原位刻蝕。在刻蝕完成后,將樣品夾緊,并進(jìn)行拉伸測(cè)試。在拉伸測(cè)試期間,通過(guò)應(yīng)力傳感器測(cè)量應(yīng)力和應(yīng)變,并記錄測(cè)試數(shù)據(jù)。
  
  3、數(shù)據(jù)處理和分析
  
  拉伸測(cè)試完成后,將測(cè)試數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析。通過(guò)對(duì)數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)和分析,可以得到薄膜的拉伸強(qiáng)度和斷裂伸長(zhǎng)率的信息。這些數(shù)據(jù)可以用于評(píng)估薄膜材料的力學(xué)性能。
  
  薄膜電子拉力機(jī)具有高精度的測(cè)量能力,可以測(cè)量微小尺寸的薄膜樣品。拉力機(jī)測(cè)試速度快,可以在短時(shí)間內(nèi)完成大量測(cè)試。適用于各種薄膜材料的測(cè)試,如金屬薄膜、聚合物薄膜等。它可以用于研究材料的力學(xué)性能和應(yīng)用特性。
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